產(chǎn)品優(yōu)勢：
全中文化自動控制系統(tǒng)。高性能真空抽氣系統(tǒng)。
兩組可切換式蒸鍍源。
膜厚檢測系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)：
●型號：KD-Fingerprint/Thermal
●腔體尺寸：600x600x750mm,Sus304不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)外點解拋光，外焊冷卻水路
●試片證物放置臺：半圓型可拉出式載臺，試片證物可利用磁鐵固定于載臺上
●蒸鍍源功率：200A/10V蒸鍍源電源供應(yīng)器，10轉(zhuǎn)可調(diào)式精密輸出控制高功率，4-1/2數(shù)位顯示電流表
●蒸鍍源切換裝置：可二組或以上之蒸鍍源自動切換蒸鍍
●高真空邦浦：擴散泵浦，抽氣效率:3400L/S
●低真空邦浦：油回轉(zhuǎn)式機械泵浦，抽氣效率：600L/min
●一高兩低真空計：1 ATM -10-9 TORR FULL RANGE 3 SENSORS
●膜厚檢測器：多功能LCD熒幕，鍍膜解析度 0.02A/SEC,量測速率：0.1sec,RS-32INTERFACE
●人機界面控制器：彩色中文化軟件，閥門各元件互鎖保護(hù)，故障原因及記錄，自動或手動控制切換，參數(shù)存儲和記憶功能，異常警報功能，NFB漏電保護(hù)功能，配電盤水電隔離裝置，緊急停止按鈕，閥門用常閉裝置防止斷電油氣回滲
●真空性能：30MIN ≤ 50X10-6TORR
A. 真空艙體 :
1.Batch type 馬蹄形前門
2.艙體材質(zhì)：SUS304L不銹鋼板
3.腔體表面：內(nèi)外拋光電解處理
4.腔體尺寸：不小于 600 x 600 x 750 mm
5.腔體外部冷卻：腔體外焊接方型不銹鋼冷卻水管路，以具備水冷卻功能，除腔體四周外，還需包括對艙門冷卻
6.6” 視窗，含防鍍玻璃
7.艙體內(nèi)部及鍍膜承載器均為不銹鋼板
B. 泵系統(tǒng) :
高性能新型聯(lián)合泵浦系統(tǒng)，最低真空度可低于10-8 Torr。
C. 真空計
C.1 艙體全領(lǐng)域真空計要求 （ Convectron + Cold Cathode Gauge ）
1. 真空測量范圍不低于 : 1 ATM – 10-10 Torr
2. 可設(shè)定單位為: Torr , mBar , Pascal
3. 操作介面RS232 I/O
C.2 艙體電容式真空計要求
1. 真空度測量范圍: 1 Torr Full Scale Range
2. 精準(zhǔn)度不低于 ：0.50%
3. 壓力限制：45 Psig Overpressure Limit
D. 蒸發(fā)源
1. 至少具有金，鋅獨立蒸發(fā)源
2. 金 低于2 X 10-5 mbar
鋅 低于3 x 10-4 和5 x 10-4 mbar
3. 4-1/2數(shù)位顯示電流表，可觀察到金或鋅等實際蒸發(fā)狀態(tài)。
4、具有手動和自動2種金屬揮發(fā)方式；除常規(guī)手動控制方式外；還必須具有自動控制方式，在自動控制狀態(tài)下，可對金或鋅等蒸發(fā)源進(jìn)行數(shù)字化緩慢精細(xì)控制揮發(fā)，揮發(fā)速率可根據(jù)使用者要求調(diào)整。
5、可控溫度控制器SCR / PID
6、每種蒸發(fā)源均具有獨立不銹鋼防污蓋板，在蒸發(fā)時可先手動或自動開啟，在蒸發(fā)后手動或自動關(guān)閉；防止一種金屬蒸發(fā)源蒸發(fā)后落下污染另一種蒸發(fā)源，造成污染。
*E . 必須具有膜厚計，可檢測金屬揮發(fā)狀況
1. 測量速度不低于 : 0.1 Second
2. 速率顯示分辨率不低于 : 0.02 Angstrom per Second ( AL )
3. 顯示屏 : Multiple Function LCD w/ LED Backlight
4. 變量: 6 參數(shù) /薄膜
5. 操作界面 : RS-232
6. 薄厚計使用壽命可記錄顯示，作為其使用壽命判斷依據(jù)
*F. 鍍膜承載器 .
1. 鍍膜承載面積不小于 800 x 600 mm
2. 具有公轉(zhuǎn)載物臺，可進(jìn)行公轉(zhuǎn)，速率可調(diào)： 5-20 rpm ，可對立體被鍍物體進(jìn)行360度旋轉(zhuǎn)鍍膜。
G. 冷水機 1臺
1. 制冷力 : 12000 / 24000
2. 水泵浦馬力 : 0.5 / 1
3. 水流速率( L / min ) : 30 / 30
4. 水箱容量 ( L ) : 26 / 45
5. 冷媒 : R134A . R 407C
H、 空壓機 1臺
I. 人機界面控制系統(tǒng)
1. PLC可程式邏輯控制器及10吋彩色觸控式觸摸屏，必須具有中文界面。
2. 系統(tǒng)控制介面具有參數(shù)設(shè)定、系統(tǒng)履歷、異常信息、系統(tǒng)權(quán)限登陸、制程參數(shù)設(shè)定、
自動/手動抽氣控制等功能選項，所有閥門、泵浦互鎖安全保護(hù)
3. 系統(tǒng)控制權(quán)限設(shè)定具有低階，中階及高階三種權(quán)限模式，分別給以不同操作方式來操作系統(tǒng)。
4. 系統(tǒng)參數(shù)設(shè)定具有系統(tǒng)控制權(quán)限密碼功能設(shè)定，各式閥門延時開啟，關(guān)閉時間，設(shè)定及各項異常狀況偵測功能及警示設(shè)定
5 系統(tǒng)履歷功能可記錄異常狀況情形，發(fā)生日期時間等。
6. 具備進(jìn)極停止按鈕，冷卻水循環(huán)，電磁式水流自動開關(guān)器等。
L. 安裝條件 :
安裝面積 ：W: 3m x D : 3m x H 2 m
*M. 指紋顯現(xiàn)真空鍍膜系統(tǒng)所需備品耗材 :
1. 指紋顯現(xiàn)鍍膜用金絲：0.1mm x L : 1m長 1條
2. 指紋顯現(xiàn)鍍膜用鋅粒 ：50克
3. 指紋顯現(xiàn)鍍膜用之鎢舟： 10 片
4. 指紋顯現(xiàn)鍍膜用所需監(jiān)控之石英振蕩片 6MHz：10 片
5. 腔體視窗口之防鍍玻璃：10片
6. 腔體內(nèi)部照明燈 6 組